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日本EBARA荏原RJ-CA型天然制冷剂冷却器 该冷水机适用于使用天然制冷剂（CO2）的半导体制造设备。 内置超小型罐装泵和荏原的变频控制技术，节省空间和能源。 ±温度控制在0.1°C，有助于提高工艺稳定性和提高产量。
更新时间：2025-11-10
型号：RJ-CA1V
厂商性质：经销商
浏览量：218
进口EBARA荏原RJ-XA型低GWP 制冷剂冷却器 GWRJP-XA型是用于半导体制造设备的冷却器，使用符合全球环保法规的低
更新时间：2025-11-10型号：RJ-XA1V厂商性质：经销商浏览量：127
日本EBARA荏原FDS型废气处理设备 FDS型废气处理设备 该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以 分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，从而实现对 PFCs 气体的高效处理。 与燃烧 型、加热型和等离子型的系统不同，此系统无需进行的废水处理，是一种环境
更新时间：2025-11-10型号：FDS100S厂商性质：经销商浏览量：187
日本EBARA荏原G6-E型废气处理设备 G6-E型废气处理设备 此燃烧型废气处理设备适用于半导体制造工艺中（如：外延工艺）产生大流量氢气 氯气的废气处理。
更新时间：2025-11-10型号：G6-E-A1厂商性质：经销商浏览量：138
日本EBARA荏原大流量废气处理设备 G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用 寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于 半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理。
更新时间：2025-11-10型号：G5-600-A1~A6厂商性质：经销商浏览量：107
日本EBARA荏原G5型废气处理设备 G5 型得益于荏原独特的废气处理技术，在气体处理性能、安全性和使用寿命 等方面都有着大幅的提升，并且具有高维护性。该燃烧型废气处理系统有两种 类型，最大进气量分别为 350 L/min 和 500 L/min。
更新时间：2025-11-10型号：G5-350-A1~A4厂商性质：经销商浏览量：141
日本EBARA荏原TND型废气处理设备 TND-Single型/TND-Single Plus型搭载了荏原特别研发的新型燃烧器，实现了 对包括PFCs气体在内的各种废气的高效率处理。同时通过各种应对腐蚀性及副产 物的对策，大大延长了维护周期。
更新时间：2025-11-10型号：TND-Single-A1~A4厂商性质：经销商浏览量：124
日本EBARA荏原废气处理设备G-WS型 G-WS型是一种湿式废气处理设备，能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料， 并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策，实现了较 长的维护周期。通过延长正常运行的时间，保证了运行的稳定，并降低维护成本和 人力成本。此外，维护窗口开设在设备正面，即使在Sub-Fab有限的空间中也可以 进行灵活的布局。
更新时间：2025-11-10型号：G-WS 1000厂商性质：经销商浏览量：125
日本EBARA荏原滚珠轴承型涡轮分子泵 ●脂润滑滚珠轴承； ●产品系列覆盖70～2,400L/s不同抽速区间； ●小型、轻量、低功耗； ●可选择集成控制器型（仅支持EBT70型、EBT240型）；
更新时间：2025-11-08型号：EBT70F厂商性质：经销商浏览量：148
中崎有卖EBARA荏原涡轮分子泵 ●EMT型（磁悬浮轴承型） ●磁悬浮轴承； ●产品系列覆盖340～4,200L/s不同抽速区间； ●控制器集成一体化；
更新时间：2025-11-08型号：EMT397M厂商性质：经销商浏览量：121
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