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ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
多级罗茨型干泵
多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。
在FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。
多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子，它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触，或者转子与壳体不接触，并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构，将其压缩至大气压，并将其排放到大气中。转子外壳内不使用油或其他密封液体，可实现清洁排气。齿轮和轴承使用油进行润滑，但设计了密封结构以防止油进入壳体。
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点：
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR"可比“Model:HR"更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途：
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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