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更新时间:2025-10-14
浏览次数:168新系列传感器型“G-RTAN 系列多重电离真空计",可连接不同类型的传感器头。
该产品是 B-A 型电离真空计,可以测量超高真空。
改进为更加用户友好,取代了宽范围测量和低运行成本的概念。
特点:
● 爱发科自己的理念:能够根据应用连接不同测量范围的传感器头。
● 紧凑:与以前的系列相比,显著小型化(控制器体积减少 56%)。世界上*小的级别。
● 高可用性:通过连接 PC/Android 设置设定点、条件检查等。
● 更多选择:除了模拟输出规格和串行通信规格外,还提供 EtherCAT 规格。
● 灯丝寿命通知功能:通过监视电量,可以在电离真空计寿命之前进行提前警告。
● 宽测量范围:从大气压到超高真空 (1 x 10+5至 5 x 10-8Pa) 的 (与可选单元 SWU10-R 一起使用时)。
● **的大气压力感应:可提供腔室打开时的大气压力检查(与可选装置 SAU 一起使用时)。
应用:
● 半导体或电气设备真空设备的高真空范围内的过程控制。
● 用于具有许多工艺腔室的在线或间歇式真空设备的**压力检查。
● 高真空或超高真空设备的压力测量。
规格:
型号:SH200-A 类型:模拟输出类型
型号:SH200-R 类型:串行通信类型
适用的电离计传感器头:M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可连接的传感器:
多电离计 SH200:1
个皮拉尼真空计传感器单元 SWU10-R:1 个(可选)
压力感应单元 SAU:1 个(可选)
重复性(N2):SH200 简单模式:±2%
采样时间:60 毫秒,5 倍移动平均线
值输出:
输出电压:0 至 10 VDC,LOG 输出:0.75 V/1 十进制
压力转换方程:V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新时间:60 毫秒
控制输入信号:FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF带集电极开路输入、负逻辑
控制输出信号:
传感器误差,设定点 1/2/3,发射有效
灯丝
功率观察 额定值:24VMAX、50mAMAX
饱和电压:1V
通信类型:RS232C/RS-485 接口
LED显示屏:电源:电源、错误 LED(闪烁模式和颜色变化取决于每种模式)
发射电流:1mA (1×10-3Pa 或更低)、10μA (1×10-3Pa 或更高)
脱气法:电子轰击型 1mA,330V
传感器的*大压力:2×10+5Pa (1.5 x 10+3托,2 x 10+3mbar)(**压力)
*需要单独的措施作为抵抗压力的能力,例如法兰和卡箍
传感器内部容积:17 厘米3(M-44),19 厘米3(M-45),17 厘米3(M-46)
工作温度范围:10 至 50°C
工作湿度范围:15 至 80%(非冷凝)
储存温度:-20 至 65°C(非通电、非冷凝)
IP 等级:IP30 防护等级
电源电压:DC20 至 28V(纹波、噪声 1% 或更低)低于 8W
输入/输出连接器:D-sub15 针(M2.6 螺丝)
重量:传感器单元:约 280g,传感器头 (M-44/45):80g,(M-46):300g
尺寸:69(宽)×63(深)×90(高) mm(仅传感器单元)
适用标准:CE