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进口ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
进口ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
多级罗茨型干泵Model:LR
通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
LR60，LR90，LR180，LR421，LR421-T
LR300，LR600，LR1200，LR1800，LR3601，LR3601-T，LR3601-R，LR3601-TR
特点
低温区域均热化（Model:LR）
在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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