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日本采购ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
日本采购ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
多级罗茨型干泵Model:ECO-SHOCK
ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。
ES10，ES4A，
特点
对节能的贡献
干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。
此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。
*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。
干泵的性能改进有望提高极限压力性能
可降低排气噪音
所有压力范围内，排气速度均不会下降
在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
*可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。
安装简单
用途
用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵
溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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