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日本ULVAC爱发科真空泵油泵
日本ULVAC爱发科真空泵油泵
VS1501／VS2401 是旋片式（单级）的油旋转真空泵。水冷和强制给油的方式使得在高负荷下的排气性能也得以稳定。
此外还采用了大型油位计并在设计之初考虑了维保的便捷性。
特点
水冷和强制给油
在高负荷运转下也能满足缸体的供油，排气性能比压差给油更稳定。
使用油压油防吸系统
泵停转时，可以防止油从油箱倒吸至吸气端。
维保便捷性
除使用了可时刻监测油状态的大型油位计外，还设计了油箱清洗、更换排气阀等时的便捷盖。
用途
光学膜蒸镀设备
反射器蒸镀设备
装饰用蒸镀设备
薄膜卷绕蒸镀设备
内嵌溅射设备
烘烤炉 /热处理炉
冻干设备
检漏设备
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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