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中崎有卖ULVAC爱发科真空泵油泵罗茨泵
中崎有卖ULVAC爱发科真空泵油泵罗茨泵
PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机，不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。
特点
无油
由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。
采用密封电机
通过采用密封电机，可以不需要大气/真空机械密封。 可以在没有漏油的清洁环境中使用。
表面处理，具有优异的耐腐蚀性
主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 还提供可选的表面处理。
大气压驱动型（选件：变频器）有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排气时间。
用途
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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