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日本PURERON气体过滤器的夹套加热器
日本PURERON气体过滤器的夹套加热器
用于气体过滤器的夹套加热器
气体过滤器烘焙用夹套加热器FBR系列,是可在200°C高温下对滤芯进行烘焙的革命性烘焙加热器。
FBR系列可轻松从滤器上拆卸。
可实现200°℃的烘烤。
控制器单元配备过热防锁定功能和断线检测功能,因此安全可靠。
温度、时间等设置可通过远程操作的数字控制器轻松完成。加热单元轻薄,不占用空间。
一旦过滤器内部的金属表面或元件吸附大气中的水分,仅靠Ne净化几乎无法去除。另外,如果在气氛气体中存在H2O或O2,则通过与室温下的水分的反应,过滤器内和工艺室内的反应产物会产生污染和腐蚀等。因此,为了去除水分及其他脱气成分,在200摄氏度以上进行烘烤有效。普华永道日本开发了一种在200C下烘烤过滤器的开创性烘烤系统。通过此操作,我们在APIMS测量中实现了脱气量(水分量)1.2ppb的目标。

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。