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日本OTSUKA大塚电子嵌入型膜厚计
日本OTSUKA大塚电子嵌入型膜厚计
OPTM-H1 蓝色 OPTM-H2 橙色 OPTM-H3 玫红色
OPTM-H1是日本大塚电子OPTM系列中的嵌入头型显微分光膜厚仪，专为集成到客户自有系统或产线中的在线膜厚监控而设计。该设备基于反射分光法，实现了非接触、非破坏的膜厚测量，核心优势在于测量头可自由嵌入自动化设备或定制化治具中，满足产线定制化需求。OPTM-H1覆盖230-800nm波长范围，膜厚测量范围为1nm至35μm（SiO₂等效值），并能解析多层膜厚度及光学常数（折射率n、消光系数k）。其最小测量光斑约φ3μm，单点测量在1秒内完成，适合晶圆图案化微小区域等精细结构的快速质控。
核心参数表
项目规格详情
测量原理反射分光法（光干涉法）
波长范围230 ~ 800 nm
膜厚范围1 nm ~ 35 μm（SiO₂等效值）
测量时间1秒/点以内
最小光斑约φ3 μm（配合40倍物镜）
测量项目绝对反射率、多层膜厚（最多50层）、光学常数（n, k）
光源氘灯+卤素灯
测量头尺寸210×441×474 mm / 约23 kg
总结
OPTM-H1以高集成度、微小光斑和宽膜厚范围为核心定位，将膜厚分析能力从实验室延伸至产线。其独立的嵌入头设计可灵活适配各种自动化系统，最小3μm的光斑能精准测量晶圆图案等微小区域，1秒/点的测量速度保障了产线效率。对于半导体、FPD、光学涂层等行业需要在在线环境中进行非破坏、高精度膜厚监控的用户而言，这是一款兼具灵活性、精度与效率的嵌入式解决方案。
中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器，SUZUKI超声波切割机，GRAPHTEC图技，JST日压，AND爱安德，TRUSCO中山，ASONE亚速旺，TOA-DKK 东亚电波，ATAGO爱拓，HOZAN宝山，FUNATECH船越龙，VESSEL威威，HEIDON新东科学，HIOS好握速，SIBATA柴田科学，HORIBA堀场， ONOSOKKI小野，KETT凯特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM马康，MUSASHI武藏， AMADA米亚基，MECT麦特，Mitutoyo三丰，PISCO匹士克等多家品牌认证。
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