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日本电子JEOL场发射俄歇电子能谱仪螺旋探针
日本电子JEOL场发射俄歇电子能谱仪螺旋探针
日本电子（JEOL）推出的JAMP-9510F是一款高规格的场发射俄歇电子能谱仪（FE-AES），专为纳米尺度下材料表面化学状态分析与元素表征而设计。它结合了高空间分辨率的场发射扫描电镜与俄歇能谱分析，能对样品最表层（约4 nm深度）除H、He以外的所有元素进行定性、定量及化学态分析，尤其对轻元素敏感。
参数项目性能指标
电子枪类型肖特基场发射电子枪（In-lens）
二次电子像分辨率3 nm（25 kV, 10 pA）
俄歇分析探针直径8 nm（25 kV, 1 nA）
加速电压0.5 ～ 30 kV
探针电流10⁻¹¹ ～ 2×10⁻⁷ A
能量分析器半球静电分析器（HSA）
能量分辨率（ΔE/E）0.05 ～ 0.6%
灵敏度（Cu-LMN）≥ 840,000 cps（10 kV, 10 nA, 0.6%分辨率）
该设备支持高光谱成像（Hyperspectral Mapping），可在不预设元素的情况下从全谱数据中提取元素面分布信息，有效避免数据遗漏。结合氩离子刻蚀功能，可实现深度剖析，获得元素的三维分布信息。其内置的荷电中和功能使其能够直接分析绝缘样品，拓展了应用范围。仪器广泛应用于半导体失效分析、薄膜工艺、纳米材料表征及新能源研究等领域。
中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器，SUZUKI超声波切割机，GRAPHTEC图技，JST日压，AND爱安德，TRUSCO中山，ASONE亚速旺，TOA-DKK 东亚电波，ATAGO爱拓，HOZAN宝山，FUNATECH船越龙，VESSEL威威，HEIDON新东科学，HIOS好握速，SIBATA柴田科学，HORIBA堀场， ONOSOKKI小野，KETT凯特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM马康，MUSASHI武藏， AMADA米亚基，MECT麦特，Mitutoyo三丰，PISCO匹士克等多家品牌认证。
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