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更新时间:2026-03-27
浏览次数:37知识小课堂!日本CANON ANELVA佳能 真空机 M-361CP-SPN25
日本CANON ANELVA推出的M-361CP-SPN25是一款高性能的冷阴极皮拉尼组合真空计。该产品将测量大气压至中真空范围的皮拉尼规和测量高真空至超高真空范围的冷阴极规创新性地集成于一体,实现了一台设备即可覆盖从1×10⁻⁷ Pa到1×10⁵ Pa的宽广压力测量区域,有效降低了系统的采购成本与管理负担。
技术特性
M-361CP-SPN25在测量稳定性方面表现优异。该设备显著降低了皮拉尼与冷阴极切换时的不良反应,有效避免了因未放电导致的测量停止问题,并减少了压力显示值的波动。其搭载的皮拉尼规在大气压附近具有高稳定性和高再现性,响应速度可与隔膜真空计相媲美。此外,冷阴极部分的维护极为简便,仅需更换零件即可完成,大大简化了日常保养工作。
广泛的应用领域
该产品从超高真空到大气压全面支持各类真空测量需求,主要应用领域包括:
电子与光学行业:真空蒸镀、溅射、离子注入、分子束外延(MBE)等工艺
分析仪器领域:电子显微镜、二次离子质谱(SIMS)、X射线光电子能谱(XPS)等表面分析设备
工业加工:退火、熔炼、电子束焊接、分子蒸馏等
高能物理研究:加速器、回旋加速器等实验装置
技术规格参数
M-361CP-SPN25的关键规格参数如下:
压力测量范围:1×10⁻⁷ ~ 1×10⁵ Pa
输入电压:DC+15 ~ 30 V
耗电量:2.4 W
模拟输出:0 ~ 10 V
接口类型:RS485(M-361CP-RS型号)或设定点输出(M-361CP-SP型号)
外形尺寸:50(W)×50(D)×110(L) mm(NW25法兰规格)
法兰形状:NW25、NW40、φ70ICF可选
使用温度范围:5 ~ 55 ℃
电缆长度:300米(连接显示器时为100米)
该产品符合CE标记、RoHS及IP40防护等级标准,传感器主要部件采用高品质材料制造,确保了在各类复杂环境下的可靠运行。

中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR,日本SAKAE思博,日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器,SUZUKI超声波切割机,GRAPHTEC图技,JST日压,AND爱安德,TRUSCO中山,ASONE亚速旺,TOA-DKK 东亚电波,ATAGO爱拓,HOZAN宝山,FUNATECH船越龙,VESSEL威威,HEIDON新东科学,HIOS好握速,SIBATA柴田科学,HORIBA堀场, ONOSOKKI小野,KETT凯特,日本CKD,日本妙德CONVUM,HAKKO白光,SSD西西蒂,MALCOM马康,MUSASHI武藏, AMADA米亚基,MECT麦特,Mitutoyo三丰,PISCO匹士克等多家品牌认证。