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更新时间：2026-05-06 
浏览次数：27知识小课堂！日本JFM JC-AN100A 氮化铝材料陶瓷臂
一、产品介绍
JC-AN100A陶瓷臂是日本JFM公司采用高纯度氮化铝（AlN）材料制造的精密搬运部件，在半导体制造领域被称为“末端执行器"（End Effector）。作为晶圆传输系统的核心零部件，该产品直接与晶圆接触，负责在工艺腔室间完成硅片的拾取、搬运和定位。氮化铝材料优异的导热性能与电气绝缘特性，使其特别适用于对温度控制要求严苛的制程环境，能够有效减少热应力对晶圆的影响，保障工艺稳定性。
二、规格参数
参数项目单位JC-AN100A数值
颜色-乳白色
密度g/cm³3.2
维氏硬度GPa11.2
抗弯强度MPa220
抗压强度MPa450
杨氏模量GPa310
泊松比-0.24
断裂韧性MPa·m¹/²3.2
热膨胀系数10⁻⁶/°C4.6
导热系数W/(m·K)120
最高使用温度°C800
体积电阻率(20°C)Ω·cm>10¹⁴
三、产品特点
高导热性能：导热系数达120 W/(m·K)，在JFM陶瓷材料系列中位居前列，能够快速传导热量，实现晶圆表面温度的精准控制
低热膨胀系数：热膨胀系数仅4.6×10⁻⁶/°C，在温度波动环境中保持尺寸稳定，减少热变形风险
优异的电气绝缘：体积电阻率超过10¹⁴ Ω·cm，满足半导体工艺对静电控制的严格要求
耐化学腐蚀：优异的耐酸碱腐蚀能力，在恶劣工艺环境下保持稳定性能
高精度加工：可实现复杂异形结构的精密加工，满足不同设备对机械手臂形状的定制需求
四、总结
JFM JC-AN100A氮化铝陶瓷臂凭借120 W/(m·K)的高导热系数与4.6×10⁻⁶/°C的低热膨胀系数，在温度敏感型半导体制程中展现出独特优势。相比传统氧化铝陶瓷臂，氮化铝材质能够更有效地控制晶圆温度均匀性，适用于热处理、CVD等对热管理要求严苛的工艺环节。该产品兼具良好的机械强度与电气绝缘性能，配合JFM灵活的定制化加工能力，可为各类半导体设备提供可靠的晶圆搬运解决方案。
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