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知识小课堂!日本Fujikin富士金 气动阀 FPR-PNSD-721-6.35-316LP

更新时间:2026-05-07      浏览次数:20

知识小课堂!日本Fujikin富士金 气动阀 FPR-PNSD-721-6.35-316LP

富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 气动阀产品介绍

Fujikin富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 是一款隶属于PURE*系列的高压高纯气动式金属隔膜阀,专为半导体、光伏及特种化工等超高纯流体系统设计。

核心参数

型号:FPR-PNSD-721-6.35-316LP

通径:6.35 mm(1/4英寸)

材质:阀体为 SUS316LP 不锈钢

驱动方式:气动(常闭型)

连接规格:内螺纹(符合 PNSD 标准)

最大工作压力:20.5 MPa

工作温度:-10℃ 至 40℃

适用介质:高纯气体、腐蚀性及高毒性特种气体

结构特点

该阀采用金属双层隔膜技术(材质为 Elgiloy 镍钴合金),实现阀体与执行机构隔离,杜绝外部泄漏风险。流道经设计配合 EP 电解抛光处理,表面粗糙度极低,确保超洁净环境。整体进行特级无油(禁油)处理,满足高纯工艺对无污染的苛刻要求。

应用优势

零泄漏:金属隔膜密封结构,内外泄漏率极低

高耐压:20.5 MPa 承压能力,适应高压特气输送

高寿命:隔膜经久耐用,维护成本低

自动化控制:气动直动式设计,响应迅速,便于集成

凭借紧凑机身与性能,该阀广泛适用于晶圆制造、刻蚀、CVD / PVD 等半导体核心设备,以及光伏、LED 和精细化工行业中的高纯流体控制场合,是严苛工况下的理想选择。

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