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产品介绍!日本MIYUKI美幸辉 电动伺服闸板式真空调节阀 GAR-J300

更新时间:2026-07-09      浏览次数:31

产品介绍!日本MIYUKI美幸辉 电动伺服闸板式真空调节阀 GAR-J300 闸阀

一、产品简介

GAR-J300是日本MIYUKI(美幸辉)旗下一款高性能真空调节阀。根据现有资料,它更可能属于闸阀(Gate Valve)结构,而非蝶阀。其核心定位是用于高真空环境下的精确流量调节与通断控制,而非简单开关。产品特点是排气特性优异,采用SUS304不锈钢研磨板材料,有效减少了内表面的气体释放,适合半导体、真空镀膜等对洁净度要求严苛的制程。

二、关键参数

项目规格参数

驱动方式电动伺服(具体伺服品牌未见详细说明)

适用口径300A(JIS标准)

工作压力范围10⁵ Pa ~ 10⁻⁶ Pa(大气压至高真空)

内部漏率(阀座)≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

外部漏率(轴封)≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

气体接触材质SUS304不锈钢

阀体密封件氟橡胶O型圈

耐热温度本体:150°C;电机:40°C

停电时阀门状态停止(制动锁止),可实现全闭密封

三、总结

GAR-J300是一款专为大型真空系统设计的精密控制阀,其核心优势在于兼顾了大流量通断与高精度调节,并且采用了低释气、低颗粒的设计结构,确保了真空环境的洁净度。其断电锁止功能也为系统安全提供了重要保障,是真空工艺中实现精确压力控制的理想选择。

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