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更新时间：2026-07-21 
浏览次数：13知识小课堂！日本ULVAC爱发科 罗茨式真空泵机组 YM-RL-601A
YM-RL-601A、YM-RL-602A
日本ULVAC爱发科（株式会社ULVAC）推出的YM-RL-601A是一款多级罗茨干式真空泵机组，由多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、管路、控制箱及消音器等组合而成，用于生产及研究设备的真空排气。其核心优势在于无油洁净的真空环境、低温领域均热化技术与优良的耐腐蚀性。泵腔内无油运转，确保排气清洁无污染，适用于对油污敏感的精密工艺；低温均热化设计特别适用于对温度敏感的重要工艺腔体排气，有助于缩短工艺时间；标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，能有效降低腐蚀性气体对泵体内部的损伤，显著延长在CVD、刻蚀等活性气体环境下的使用寿命。同时，机组兼具低噪音、低振动的运行特性，并可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器等多种功能组件，满足不同工艺监控需求。
以下是YM-RL-601A的主要技术参数：
参数项规格指标
抽速（50/60 Hz）653 / 701 L/min
极限压力0.67 Pa（皮拉尼计值）
电机额定功率2.2 kW
总结：YM-RL-601A集洁净无油、低温均热化、耐腐蚀性强等特性于一身，是冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉/烧结炉、单晶炉/多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等众多工业真空应用的理想选择，尤其适合对真空洁净度、泵体耐腐蚀性及工艺温度控制有严格要求的精密制造场景。
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