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更新时间：2026-08-25 
浏览次数：8产品介绍！日本MIYUKI美幸辉 自动压力控制控制器 MGCS-11
一、产品介绍
MGCS-11是日本MIYUKI（美幸辉）推出的旗舰级超高精度真空闭环压力控制器，专为半导体、光学镀膜、精密真空工艺等高阶场景开发。该控制器搭载自动调谐功能，可自动快速优化PID参数。设备支持双通道真空传感器同步接入，配合7组工艺参数记忆功能（PB、PID），可实现0.1Pa～10⁵Pa宽范围压力控制。操作方面支持4英寸触摸屏、I/O及RS-232C串行通信三种模式。此外，MGCS-11可外接UPS不间断电源，停电时自动关闭阀门，保障工艺安全。其半尺寸19英寸机架设计便于安装收纳。
二、主要技术参数
参数项目规格
控制器型号MGCS-11
压力控制范围0.1～10⁵ Pa
控制精度设定压力的±0.1%
适用控制阀GAR / BAR系列
显示/操作单色4英寸液晶触摸屏
真空计输入2通道 / DC 0~10V
串行通信RS-232C
输入电源AC100V~230V（单相），最大180W
外形尺寸241×344×143.5mm
质量4kg
环境温度0~55℃（室内安装）
环境湿度85%以下
三、总结
MGCS-11凭借±0.1%的高控制精度、双通道传感采集、七组工艺参数记忆以及的通讯与断电保护功能，为真空制程提供了稳定可靠的自动压力控制方案。其自动整定与宽域控制能力可有效提升工艺一致性与产品良率，是精密真空领域理想的压力控制设备。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
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