日本进口EBARA荏原干式真空泵
这是一款用于中负荷工艺的干式真空泵，配备了荏原的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造优化的模块化设计，实现了进一步的小型化和节能。

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日本进口EBARA荏原干式真空泵

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这是一款用于中负荷工艺的干式真空泵，配备了荏原的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造优化的模块化设计，实现了进一步的小型化和节能。

宽范围的温度控制扩展了应用过程。在同一型号上覆盖多个流程的能力可以优化备用机器库存，减少维护和培训工作，并灵活地适应未来的流程扩展。此外，每个工艺的最佳温度控制提高了工艺公差，并通过延长零件的更换周期来降低 TCoO。

应用：蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。

日本进口EBARA荏原干式真空泵

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。

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