日本EBARA荏原RJ-CA型天然制冷剂冷却器
该冷水机适用于使用天然制冷剂（CO2）的半导体制造设备。内置超小型罐装泵和荏原的变频控制技术，节省空间和能源。
±温度控制在0.1°C，有助于提高工艺稳定性和提高产量。

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该冷水机适用于使用天然制冷剂（CO2）的半导体制造设备。内置超小型罐装泵和荏原的变频控制技术，节省空间和能源。

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