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总经销！日本PURERON排气过滤器
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排气过滤器
在半导体制造装置中使用的负载锁定室(Loadlockchamber)和输送室(Transferchamber)等中，在进行真空破坏时产生的粒子卷起或过渡性紊流的发生，有可能导致粒子附着到芯片上或损坏。以往，通过采用缓慢导入氮气的慢通风来防止这一现象，但通过使用普锐龙日本的通风用过滤器，不需要该慢通风，从而大幅提高吞吐量。
所有材质均采用SUS316L构成。
具有优异的耐热性能。
具有高过滤精度。
由于其杯状结构，可从前端喷出气体。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
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