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日本DIC eFLOW柜式安装型超纯水防静电装置
日本DIC eFLOW柜式安装型超纯水防静电装置
产品介绍
3AC-P201 是 DIC eFLOW 防静电装置 C 系列中的一款柜式安装型产品。该系列通过 DIC 自主研发的“中空纤维透气膜"技术，向超纯水（DIW）中精准注入微量二氧化碳，调节其电阻率以消除静电，有效防止“灰尘再附着"和电路板图案的“静电击穿"。与面板安装型（P 系列）不同的是，C 系列内置了可容纳两瓶 CO₂ 钢瓶的机柜，且电阻率传感器集成于柜内，可将水管直接连接至用水点，安装与使用更为便捷。
该型号搭载两个二氧化碳溶解模块（PF-001L-ND3），处理流量范围达到 10–50 L/min，是整个 eFLOW 系列中流量最大的型号之一，适配需要大流量超纯水供给的产线需求。其核心的二氧化碳气体供应模块拥有 5 年质保，整体结构简单、故障率低。
技术参数
参数项目规格指标
产品型号eFLOW 3AC-P201
安装方式柜式安装型（C 系列），内置 CO₂ 钢瓶柜
处理流量10 – 50 L/min
模块配置PF-001L-ND3 × 2 个
核心部件质保二氧化碳气体供应模块 5 年
总结
3AC-P201 凭借双模块配置和一体式机柜设计，将处理能力提升至 50 L/min 的同时，简化了现场安装与管路连接。该型号适用于半导体、液晶面板等行业中需要大流量超纯水防静电的清洗、切割等工艺。选型时请根据产线实际流量需求（10–50 L/min）及安装空间进行确认。
DIC e-flow！ 该产品是面向洁净室半导体制程的主动式离子风防静电消除设备，专为晶圆、载具、光罩、精密陶瓷零部件的微静电管控设计，是先进封装、光刻、检测工位的标配防静电产品，半导体前道工艺用的极为广泛
特点：
构造简单，故障率低。
独特的管道分配方式，既易于控制电阻率，又能
保持良好的稳定性。
二氧化碳供给模块寿命长。(保证期5年，大日本油墨化学制造)
效果：
可防止静电导致的“尘埃再次粘附"
可防止电路板刻蚀中的"静电破坏"
引用领域与用途：
应用在：LSI,LCD
掩膜板的清洗
洗涤器的清洗
高压喷射的清洗
切割工序中的清洗
单元的清洗
P Series可安装于IEA(美国电子工业)规格标准仪表架上。1AP型号的标准机为接液部件无金属规格。AP型号为可选件，可对应无金属规格。
C Series配有可装入两个CO2气瓶的柜子。内置电阻率传感器，可直接用水管将eFLOW 与使用场所连在一起。
中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器，SUZUKI超声波切割机，GRAPHTEC图技，JST日压，AND爱安德，TRUSCO中山，ASONE亚速旺，TOA-DKK 东亚电波，ATAGO爱拓，HOZAN宝山，FUNATECH船越龙，VESSEL威威，HEIDON新东科学，HIOS好握速，SIBATA柴田科学，HORIBA堀场， ONOSOKKI小野，KETT凯特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM马康，MUSASHI武藏， AMADA米亚基，MECT麦特，Mitutoyo三丰，PISCO匹士克等多家品牌认证。
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