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ProductsULVAC爱发科HR系列多级罗茨型干泵 多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。 在FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。
日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵 通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。 高温区域均热化实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
ULVAC爱发科多级罗茨型干泵真空泵 多级罗茨型干泵 多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。 在FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。 多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子,它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触,或者转子与壳体不接触,并且在保持小间隙的同时旋转以传
ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 多级罗茨型干泵 多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。 在FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。 多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子,它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触,或者转子与壳体不接触,并且在保持小间隙的同时旋转以传
ULVAC爱发科日本多级罗茨型干泵 多级罗茨型干泵 多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。 在FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。 多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子,它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触,或者转子与壳体不接触,并且在保持小间隙的同时旋转以传
ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵原装正品 “Model:LS“真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该Model产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。 在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。
日本ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵 “Model:LS“真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该Model产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。 在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。
ULVAC爱发科日本螺杆型干式真空泵 “Model:LS“真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该Model产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。 在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。
ULVAC爱发科螺杆型干式真空泵 “Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上,提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
进口ULVAC爱发科螺杆型干泵 特点 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。 采用ULVAC独特设计的转子轴,实现高性能的排粉。 从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。