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日本EBARA荏原大流量废气处理设备 G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用 寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于 半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理。
更新时间：2025-11-10
型号：G5-600-A1~A6
厂商性质：经销商
浏览量：131
日本EBARA荏原G5型废气处理设备 G5 型得益于荏原独特的废气处理技术，在气体处理性能、安全性和使用寿命 等方面都有着大幅的提升，并且具有高维护性。该燃烧型废气处理系统有两种 类型，最大进气量分别为 350 L/min 和 500 L/min。
更新时间：2025-11-10型号：G5-350-A1~A4厂商性质：经销商浏览量：175
日本EBARA荏原TND型废气处理设备 TND-Single型/TND-Single Plus型搭载了荏原特别研发的新型燃烧器，实现了 对包括PFCs气体在内的各种废气的高效率处理。同时通过各种应对腐蚀性及副产 物的对策，大大延长了维护周期。
更新时间：2025-11-10型号：TND-Single-A1~A4厂商性质：经销商浏览量：164
日本EBARA荏原废气处理设备G-WS型 G-WS型是一种湿式废气处理设备，能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料， 并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策，实现了较 长的维护周期。通过延长正常运行的时间，保证了运行的稳定，并降低维护成本和 人力成本。此外，维护窗口开设在设备正面，即使在Sub-Fab有限的空间中也可以 进行灵活的布局。
更新时间：2025-11-10型号：G-WS 1000厂商性质：经销商浏览量：148
日本EBARA荏原滚珠轴承型涡轮分子泵 ●脂润滑滚珠轴承； ●产品系列覆盖70～2,400L/s不同抽速区间； ●小型、轻量、低功耗； ●可选择集成控制器型（仅支持EBT70型、EBT240型）；
更新时间：2025-11-08型号：EBT70F厂商性质：经销商浏览量：170
中崎有卖EBARA荏原涡轮分子泵 ●EMT型（磁悬浮轴承型） ●磁悬浮轴承； ●产品系列覆盖340～4,200L/s不同抽速区间； ●控制器集成一体化；
更新时间：2025-11-08型号：EMT397M厂商性质：经销商浏览量：136
EBARA荏原干式真空泵进口干泵 EV-PA 型是以小型、轻量、节能为特点的清洁用途风冷干式真空泵。 这款新一代干式真空泵有着即插即用的便携性，并且采用了非接触式密封设
更新时间：2025-11-08型号：EV-PA250厂商性质：经销商浏览量：180
中崎EBARA荏原干式真空泵日本进口干泵 EV-A10 型是无需冷却水、安装方便的小型风冷 在接近大气压环境下的抽气速率优异，是反复进行空气抽吸用途的。
更新时间：2025-11-08型号：EV-A10厂商性质：经销商浏览量：185
EBARA荏原干式真空泵小型风冷干泵 EV-SA 型是无需冷却水、安装方便的小型风冷干式真空泵。 以节能低噪为特点，适合各种分析机器、电子显微镜等清洁抽气用途。
更新时间：2025-11-08型号：EV-SA20厂商性质：经销商浏览量：153
日本EBARA荏原干式真空泵进口泵 ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出 色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。
更新时间：2025-11-08型号：ESA15-D厂商性质：经销商浏览量：116
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