日本EBARA荏原干式真空泵进口泵
ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出
色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。

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日本EBARA荏原干式真空泵进口泵

ESA型干式真空泵

ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出

色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。

特点

●适用于大型真空腔室的高速抽气场景；●搭载转速自动控制功能（自适应泵的负荷）；

●可满足有机溶剂要求的可选配件；●搭载高性能通信功能；

●优良的控制管理方式（数据保存功能、警报履历备份）。

日本EBARA荏原干式真空泵进口泵

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。

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日本EBARA荏原干式真空泵进口泵ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。

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