日本EBARA荏原干式真空泵螺杆型转子干泵
EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、
耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

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日本EBARA荏原干式真空泵螺杆型转子干泵

EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、

耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

特点

●可满足副产物生成的工艺（泵内气体可保持高温）；

●抽气速率高、流量大；

●搭载转速自动控制功能（自适应气体流量大小）；

●可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀性材料）；

●搭载高性能通信功能；

●优良的控制管理方式（数据保存功能、警报履历备份）。

日本EBARA荏原干式真空泵螺杆型转子干泵

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日本EBARA荏原干式真空泵螺杆型转子干泵
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