日本EBARA荏原干式真空泵干泵
EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重
制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和

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日本EBARA荏原干式真空泵干泵

EV-M型干式真空泵

EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重

制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和

运行成本的降低。

特点

●产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求；

●兼顾高负荷与低功耗；

●可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）。

日本EBARA荏原干式真空泵干泵

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。

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