- 厂家供应
- 大量现货
- 可开发票
服务热线：
服务热线：
产品分类
Products
在线咨询
联系电话：0731-82115983
日本EBARA荏原大流量废气处理设备
日本EBARA荏原大流量废气处理设备
G5型大流量废气处理设备
G5型得益于荏原独特的废气处理技术，有着处理性能优秀、安全性高和使用
寿命长等优点。分为最大气体流量 600L/min和1200L/min两种类型。适用于
半导体制造过程中如TEOS等含有Si源的可燃气体的大流量废气处理。
特点：
●比普通G5型更高的流量规格；
●进气口从4个增加到6个；
●标配副产物清除功能（燃烧器部分），可用性更高；
●标配自动除粉功能（储气罐部分），大幅延长维护周期；
●根据处理气体的类型和量按需运行（能耗自动变化），可降低运行成本。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
我的位置：
