日本EBARA荏原G6-E型废气处理设备
G6-E型废气处理设备
此燃烧型废气处理设备适用于半导体制造工艺中（如：外延工艺）产生大流量氢气
氯气的废气处理。

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日本EBARA荏原G6-E型废气处理设备

G6-E型废气处理设备

此燃烧型废气处理设备适用于半导体制造工艺中（如：外延工艺）产生大流量氢气

氯气的废气处理。

■ 特点

●适合外延生长工艺气体处理的紧凑设计；

●可同时处理大流量氢气氯气，最大进气量为400L/min；

●标配副产物清除功能（燃烧器部分），保证正常运行时间。

日本EBARA荏原G6-E型废气处理设备

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。

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