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日本EBARA荏原FDS型废气处理设备
日本EBARA荏原FDS型废气处理设备
FDS型废气处理设备
该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以
分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，从而实现对 PFCs 气体的高效处理。 与燃烧
型、加热型和等离子型的系统不同，此系统无需进行的废水处理，是一种环境
友好型产品。
■ 特 点
●对PFCs被分解后的含氟气体进行固定处理，无需废水处理；
●在最大进气量250L/min（双筒系统）时，去除效率仍可达 99% 以上；
●250 L/min双筒系统：由于反应槽采用了串行流程设计，设备的正常运行时间显著延长；
●100 L/min单筒系统：方便与传统干式废气处理设备相互置换。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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