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日本PURERON低压损失金属气体过滤器
日本PURERON低压损失金属气体过滤器
低压损失金属气体过滤器
滤芯所有构成部件均采用SUS316L，无腐蚀或二次生成物风险，发挥高耐热性能。
当氮气(Ne)在过滤器进气侧压力为0.2MPa时，出气侧压降为0.05MPa，可实现90SLM的流量。
在恒定流与脉动条件下，通过CNC确认过滤精度为0.003μm/0.0015μm，采用超微米ULSI制造工艺实现显著提升的良率。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
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