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日本进口PURERON陶瓷气体过滤器
日本进口PURERON陶瓷气体过滤器
高过精度
在亚微米LSI制造工艺中,原料气体以高纯度的状态供给到使用点是的。为此,原料气
体的高纯度化,配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求,开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果,在稳定的状态下,实现了0.003μm的高过滤精度。
蚀刻或薄膜成形时的高选择性
为了追求高选择性,除去水和氧等杂质是极为重要的问题。为了切实地除去这些杂质,在高温
状态下烘烤是的。根据这种观点开发的陶瓷过滤器,可以进行200oC的高温烘烤。
免维护带来的成本降低
由于根据颗粒径的大小可以阶段性地减小过量的三层结构,所以几乎没有堵塞,而且具有耐久性/耐热性优异的特征的陶瓷过滤器,与以往的过滤器相比,在使用时没有麻烦。因此,没有生产线停机造成的经济损失,可以长期降低成本。

中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。