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日本PURERON高精度陶瓷气体过滤器
日本PURERON高精度陶瓷气体过滤器
高过精度
在亚微米LSI制造工艺中，原料气体以高纯度供给至使用点是的。为此，原料气体的高纯度化，配管系统的超洁净化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求，开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果，在始终稳定的状态下，实现了0.003μm/0.0015μm的高过滤精度。
低压损失
在保持本公司以往PGF系列高性能的同时，实现了低压压损。与传统的PGF系列相同的外形尺寸下，可处理约两倍的流量。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
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