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日本JFM氧化铝基复合精细陶瓷材料陶瓷穹顶
日本JFM氧化铝基复合精细陶瓷材料陶瓷穹顶
产品介绍
JC-AZ025A陶瓷穹顶是日本JFM公司采用氧化铝基复合精细陶瓷材料制造的特殊结构部件。穹顶（Dome）形态因其优异的力学性能和热稳定性，在半导体工艺腔室中得到广泛应用。该产品凭借高硬度、耐磨损、耐腐蚀及良好的热绝缘性能，特别适用于使用特殊气体的高温工艺环境，能够显著延长设备维护周期和使用寿命。
产品特点
高硬度耐磨损：维氏硬度达15GPa，穹顶表面具有优异的抗磨损能力，延长部件使用寿命
耐高温性能：最高使用温度达1600°C，适用于半导体高温制程环境
耐化学腐蚀：优异的抗腐蚀能力，可在特殊气体氛围下稳定工作
热绝缘性能：有效隔离工艺腔室内外温差，保障设备稳定运行
电气绝缘：高体积电阻率，满足半导体工艺对绝缘性能的要求
总结
JFM JC-AZ025A陶瓷穹顶以氧化铝基复合材料为基础，实现了高硬度、高强度、耐高温与耐腐蚀性能的优异平衡。其在高温腐蚀性环境下的稳定性，使其成为半导体刻蚀、沉积等工艺腔室的理想选择，能够有效减少维护频率、提升设备综合效率，为制造提供可靠保障。
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