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日本JFM真空夹头氧化铝和碳化硅制成
日本JFM真空夹头氧化铝和碳化硅制成
产品描述
真空夹头由多孔陶瓷、氧化铝和碳化硅制成，具有高导热率、绝缘性、耐腐蚀性和低热膨胀系数。 它广泛应用于半导体晶圆制造中，以均匀吸附晶圆，防止静电损伤，且易于清洁和维护。
材料性质
高温耐受性耐磨性耐腐蚀性等离子体抗侵蚀高强度高硬度
可选材料
氧化铝，碳化硅，多孔陶瓷
应用领域
半导体机械与设备
中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器，SUZUKI超声波切割机，GRAPHTEC图技，JST日压，AND爱安德，TRUSCO中山，ASONE亚速旺，TOA-DKK 东亚电波，ATAGO爱拓，HOZAN宝山，FUNATECH船越龙，VESSEL威威，HEIDON新东科学，HIOS好握速，SIBATA柴田科学，HORIBA堀场， ONOSOKKI小野，KETT凯特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM马康，MUSASHI武藏， AMADA米亚基，MECT麦特，Mitutoyo三丰，PISCO匹士克等多家品牌认证。
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