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日本DIC eFLOW面板安装型超纯水防静电装置
日本DIC eFLOW面板安装型超纯水防静电装置
产品介绍
eFLOW 1AP-B02 是日本 DIC(迪爱生)旗下 P 系列的一款面板安装型超纯水防静电装置。该系列可安装在符合 EIA(美国电子工业协会)标准的机架上,1AP 型的连接部件采用全洁净规格,适用于精密制造场景。其核心原理是利用 DIC 自主研发的“中空纤维透气膜",向超纯水中精准输送微量二氧化碳,从而控制其电阻率,消除静电,有效防止因静电引起的“灰尘再附着"和电路板图案的“静电击穿"。
该型号结构简单、故障率低,且拥有 DIC 自主生产的二氧化碳供应模块(质保 5 年),稳定性与使用寿命均有保障。产品广泛用于掩模版清洁、洗涤器清洗、高压喷射清洗及切割工序等场景。
技术参数
参数项目规格指标
产品型号eFLOW 1AP-B02
安装方式面板安装型(P 系列),兼容 EIA 标准机架
处理流量1 – 16 L/min
模块配置PF-001L-NA × 1 个
核心部件质保二氧化碳气体供应模块 5 年
总结
1AP-B02 是一款通过物理方式调节超纯水电阻率以实现防静电功能的专业化设备,其面板安装设计和高洁净规格精准对应了半导体、液晶面板等行业的严苛需求。选型时需根据实际产线的超纯水用量,确认 1-16 L/min 的流量范围是否满足工况。
DIC e-flow ! 该产品是面向洁净室半导体制程的主动式离子风防静电消除设备,专为晶圆、载具、光罩、精密陶瓷零部件的微静电管控设计,是先进封装、光刻、检测工位的标配防静电产品,半导体前道工艺用的极为广泛
特点:
构造简单,故障率低。
独特的管道分配方式,既易于控制电阻率,又能
保持良好的稳定性。
二氧化碳供给模块寿命长。(保证期5年,大日本油墨化学制造)
效果:
可防止静电导致的“尘埃再次粘附"
可防止电路板刻蚀中的"静电破坏"
引用领域与用途:
应用在:LSI,LCD
掩膜板的清洗
洗涤器的清洗
高压喷射的清洗
切割工序中的清洗
单元的清洗
P Series可安装于IEA(美国电子工业)规格标准仪表架上。1AP型号的标准机为接液部件无金属规格。AP型号为可选件,可对应无金属规格。

中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR,日本SAKAE思博,日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器,SUZUKI超声波切割机,GRAPHTEC图技,JST日压,AND爱安德,TRUSCO中山,ASONE亚速旺,TOA-DKK 东亚电波,ATAGO爱拓,HOZAN宝山,FUNATECH船越龙,VESSEL威威,HEIDON新东科学,HIOS好握速,SIBATA柴田科学,HORIBA堀场, ONOSOKKI小野,KETT凯特,日本CKD,日本妙德CONVUM,HAKKO白光,SSD西西蒂,MALCOM马康,MUSASHI武藏, AMADA米亚基,MECT麦特,Mitutoyo三丰,PISCO匹士克等多家品牌认证。