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日本DIC eFLOW面板安装型超纯水防静电装置
日本DIC eFLOW面板安装型超纯水防静电装置
产品介绍
2AP-B01 是 DIC eFLOW 防静电装置 P 系列中的一款面板安装型产品,可安装于符合 EIA(美国电子工业协会)标准的机架上。该系列通过 DIC 自主研发的“中空纤维透气膜"技术,向超纯水(DIW)中精准注入微量二氧化碳,调节其电阻率以消除静电,有效防止“灰尘再附着"和电路板图案的“静电击穿"。
该型号搭载两个二氧化碳溶解模块(PF-001L-ND2),处理流量范围提升至 5–30 L/min,适配需要更大流量的产线。2AP 型可选配全清洁规格,满足更严苛的洁净需求。整体结构简单、故障率低,核心的二氧化碳气体供应模块拥有 5 年质保。
技术参数
参数项目规格指标
产品型号eFLOW 2AP-B01
安装方式面板安装型(P 系列),兼容 EIA 标准机架
处理流量5 – 30 L/min
模块配置PF-001L-ND2 × 2 个
清洁规格全清洁规格为选购件
核心部件质保二氧化碳气体供应模块 5 年
总结
2AP-B01 通过双模块配置将处理流量提升至 30 L/min,同时保持了面板安装的紧凑性与高洁净规格的灵活性,适用于半导体、液晶面板等行业中需要更大流量超纯水防静电的清洗、切割等工艺。选型时请根据产线实际流量需求(5-30 L/min)及洁净等级要求进行确认。
DIC e-flow! 该产品是面向洁净室半导体制程的主动式离子风防静电消除设备,专为晶圆、载具、光罩、精密陶瓷零部件的微静电管控设计,是先进封装、光刻、检测工位的标配防静电产品,半导体前道工艺用的极为广泛
特点:
构造简单,故障率低。
独特的管道分配方式,既易于控制电阻率,又能
保持良好的稳定性。
二氧化碳供给模块寿命长。(保证期5年,大日本油墨化学制造)
效果:
可防止静电导致的“尘埃再次粘附"
可防止电路板刻蚀中的"静电破坏"
引用领域与用途:
应用在:LSI,LCD
掩膜板的清洗
洗涤器的清洗
高压喷射的清洗
切割工序中的清洗
单元的清洗
P Series可安装于IEA(美国电子工业)规格标准仪表架上。1AP型号的标准机为接液部件无金属规格。AP型号为可选件,可对应无金属规格。

中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR,日本SAKAE思博,日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器,SUZUKI超声波切割机,GRAPHTEC图技,JST日压,AND爱安德,TRUSCO中山,ASONE亚速旺,TOA-DKK 东亚电波,ATAGO爱拓,HOZAN宝山,FUNATECH船越龙,VESSEL威威,HEIDON新东科学,HIOS好握速,SIBATA柴田科学,HORIBA堀场, ONOSOKKI小野,KETT凯特,日本CKD,日本妙德CONVUM,HAKKO白光,SSD西西蒂,MALCOM马康,MUSASHI武藏, AMADA米亚基,MECT麦特,Mitutoyo三丰,PISCO匹士克等多家品牌认证。