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日本OTSUKA大塚电子Smart膜厚仪
日本OTSUKA大塚电子Smart膜厚仪
产品介绍
SM-110SO属于大塚电子Smart膜厚仪系列，是一款基于反射分光法（光干涉法）、可携带至现场的手持式膜厚测量系统。它的核心优势在于将高精度光学测量能力集成于约1.1kg的手持设备中，实现了非破坏性、快速且不受基材材质限制的膜厚测量。对于难以移动的立体工件、无法切割的成品（如窗膜、涂层），或需要在不同产线间快速巡检的场景，该设备能直接在现场提供可靠数据。
核心参数表
项目规格详情
测量原理反射分光法（光干涉法），非破坏性测量
膜厚测量范围1 μm ～ 50 μm（显示上限60 μm）
重复精度2.1σ 0.01 μm（SiO₂膜1μm）
测量时间1秒以内
基材适用性适用于玻璃、塑料、硅片等非金属基材，无需制作检量线即可获得绝对值
测量层数1层
测量光斑Φ1 mm以下
数据输出操作屏幕显示或通过USB导出为Excel档案
重量约1.1 kg
总结
SM-110SO是一款打破实验室与现场界限的实用型膜厚仪。它牺牲了台式设备对超薄膜（nm级）及多层膜的解析能力，但换取了的便携性、非破坏性测量和对异形样品的强适应性。对于需要快速、无损地在现场对1~50μm厚度范围的单层涂层或镀膜进行质量控制的应用（如光学膜、光刻胶、硬化涂层等），SM-110SO提供了高效且精准的解决方案。
中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器，SUZUKI超声波切割机，GRAPHTEC图技，JST日压，AND爱安德，TRUSCO中山，ASONE亚速旺，TOA-DKK 东亚电波，ATAGO爱拓，HOZAN宝山，FUNATECH船越龙，VESSEL威威，HEIDON新东科学，HIOS好握速，SIBATA柴田科学，HORIBA堀场， ONOSOKKI小野，KETT凯特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM马康，MUSASHI武藏， AMADA米亚基，MECT麦特，Mitutoyo三丰，PISCO匹士克等多家品牌认证。
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