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日本ULVAC爱发科高性能两级油旋片式真空泵
日本ULVAC爱发科高性能两级油旋片式真空泵
日本ULVAC爱发科（株式会社ULVAC）推出的GLD-N051是一款高性能两级油旋片式真空泵。其核心优势在于强制供油机构与气镇阀设计。强制供油机构能保证从大气压到高真空的整个排气过程中，维持稳定的油润滑和内部密封，确保抽气速度稳定。气镇阀能有效防止水蒸气等可凝性蒸汽在泵油内凝结，延长泵油使用寿命。此外，该泵还配备了油逆流防止装置，在断电时能自动防止泵油回流污染真空腔，保护真空系统。大型油位观察窗便于随时确认油污染状况，维护十分便捷。
以下是GLD-N051的主要技术参数：
参数项规格指标
几何抽速（50/60Hz）60 / 70 L/min
极限压力（气镇阀关/开）6.7×10⁻¹ / 6.7 Pa
电机功率（极数）200W（4P）
电源电压单相 100/220V 或 三相 200/380V（50/60Hz 通用）
使用油ULVOIL R-4 / SMR-100
所需油量500 ~ 800 mL
进气口口径KF-25
重量14.5 kg
总结：GLD-N051是一款集高真空度、低震动、低噪音与多重安全保护功能于一体的油旋片式真空泵。其两级排气系统能实现更低的极限压力（6.7×10⁻¹ Pa），广泛适用于半导体制造、真空镀膜、电子显微镜辅助泵、理化分析及真空干燥等众多对真空环境有较高要求的应用场景。
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