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日本ULVAC爱发科高性能两级油旋片式真空泵
日本ULVAC爱发科高性能两级油旋片式真空泵
日本ULVAC爱发科(株式会社ULVAC)推出的GLD-N202是一款高性能两级油旋片式真空泵。其核心优势在于强制供油机构、气镇阀设计与防逆流装置。强制供油机构能保证从大气压到高真空的整个排气过程中维持稳定的油润滑和内部密封,确保抽气速度稳定。气镇阀能有效防止水蒸气等可凝性蒸汽在泵油内凝结,延长泵油使用寿命。防逆流装置在停电时可自动防止泵油回流污染真空腔,保护真空系统。此外,GLD系列通过散热片创新设计实现了良好的散热效果,并具备低震动、低噪音、油位观察窗大便于确认油污染状况等优点。
以下是GLD-N202的主要技术参数:
参数项规格指标
排气速度(50/60Hz)240 / 290 L/min
极限压力(气镇阀关/开)6.7×10⁻¹ / 6.7 Pa
电机功率(极数)550W(4P)
电源电压单相 100-120V/200-240V 或 三相 200-240V/380-460V
使用油ULVOIL R-7 / SMR-100
所需油量1,100 mL
进气口口径KF-25
重量31 kg
总结:GLD-N202是一款集高真空度、低震动、低噪音与多重安全保护功能于一体的油旋片式真空泵。其两级排气系统能实现更低的极限压力(6.7×10⁻¹ Pa),广泛适用于半导体制造、真空镀膜、电子显微镜辅助泵、理化分析及真空干燥等众多对真空环境有较高要求的应用场景。

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