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供应现货！日本ULVAC爱发科干式真空泵
供应现货！日本ULVAC爱发科干式真空泵
NRL60A、NRL90A、NRL180A
日本ULVAC爱发科（株式会社ULVAC）推出的NRL60A是一款高性能干式真空泵，属于NRL系列中的基础型号。其核心优势在于低温均热化技术与优异的耐腐蚀性。通过低温领域下的均热化设计，该泵在排气过程中能有效控制泵体温度分布，尤其适用于对温度敏感的重要工艺腔体排气。标准零部件采用高硬度并经过防腐蚀特殊表面处理，能有效降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度，显著延长了在CVD、刻蚀等活性气体环境下的使用寿命。同时，该泵具备低噪音、低振动的运行特性，并支持选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器等组件，以满足不同工艺的监控需求。
以下是NRL60A的主要技术参数：
参数项规格指标
抽速（50/60 Hz）70 / 84 L/min（1,167 / 1,400 L/min）
极限压力5 Pa（氮气密封流量5.0 SLM时）
电机功率2.2 kW
使用油BARRIERTA J100（E）/ FOMBLIN YL-VAC 25/6
所需油量（大气侧/真空侧）0.5 / 0.3 L
冷却水流量5 L/min
氮气流量5 SLM
重量128 kg
吸气/排气口径VG50 / NW40
总结：NRL60A集耐腐蚀性、低温均热化、低噪音低振动等特性于一身，是CVD、刻蚀、溅射镀膜、热处理、液晶注入、Si单晶炉排气以及作为涡轮分子泵和罗茨泵前级泵的理想选择，尤其适合对排气洁净度和泵体耐腐蚀性有严格要求的半导体及真空镀膜工艺场景。
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