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日本ULVAC爱发科罗茨式真空泵机组
日本ULVAC爱发科罗茨式真空泵机组
YM-VD-301A、YM-VD-601A、YM-VD-602A、YM-VD-1201A、YM-VD-1202A，
YM-VS-601、YM-VS-602、YM-VS-1201、YM-VS-1202A，
日本ULVAC爱发科（株式会社ULVAC）推出的YM-VD-602A是一款中型罗茨泵机组，由两台VDN401双级油旋片泵并联作为前级泵与罗茨泵组合而成，并集成了安装支架、管路、控制箱、油雾过滤器等部件，用于生产及研究设备的真空排气。其核心优势在于双前级泵并联设计带来的高抽速与高可靠性。两台VDN401并联使前级抽速翻倍，能够在中低真空范围内实现远高于单级泵机组的抽气速度，大幅缩短排气时间；同时，即使其中一台前级泵出现故障，另一台仍可维持运行，大幅提升了长时间连续运转工况下的系统可靠性，特别适合不能停机的热处理产线。前级泵采用VDN系列双级油旋片泵，极限压力低至6.7×10⁻¹ Pa，使机组整体极限压力同样达到6.7×10⁻¹ Pa，能够满足真空热处理、烧结等对极限真空要求较高的工艺需求。前级泵均标配油雾过滤器，有效减少排气中的油雾排放。
以下是YM-VD-602A的核心配置参数：
参数项规格指标
前级泵VDN401 × 2台（并联）
前级泵类型双级油旋片真空泵
前级泵极限压力6.7×10⁻¹ Pa（气镇阀关）
机组极限压力6.7×10⁻¹ Pa
总结：YM-VD-602A集双泵并联高抽速、高极限真空、高可靠性于一身，是中型真空热处理炉、连续式烧结炉、退火炉等不能停机的热处理产线，以及蒸发镀膜、溅射镀膜、真空干燥等工业应用的理想选择。
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