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日本电子JEOL金靶材780110871
日本电子JEOL金靶材780110871
780174712 ，780110871 ，783163835 ，
介绍
日本电子（JEOL）780108647金靶材是一款专为扫描电镜（SEM）样品导电镀膜设计的高纯度溅射靶材。采用99.99%高纯金（Au）制造，适配JEOL JFC系列离子溅射仪（如JFC-1200/1300/1600/2300HR）。通过在非导电样品表面沉积纳米级金薄膜，可有效消除电荷积聚，显著提升高分辨率成像质量。金靶材凭借优异的导电性、稳定的化学惰性和高二次电子产率，成为电子显微分析实验室的常规耗材。以下为详细技术参数。
参数项目详细规格
品牌日本电子（JEOL）
零件编号780108647
材质金（Au）
纯度99.99%（4N）
形状圆形薄片
直径φ49 mm（公差±0.1 mm）
厚度0.05 mm（公差±0.005 mm）
密度19.32 g/cm³（@20℃）
熔点1064℃
热导率317 W/(m·K)
电阻率2.44×10⁻⁸ Ω·m
适用仪器JEOL JFC-1200/1300/1400/1600/2300HR 等离子溅射仪
推荐溅射气体高纯氩气（≥99.999%）
工作真空度约 5~10 Pa（依仪器设定）
典型溅射电流10~40 mA（依镀膜厚度需求）
膜厚均匀性≤±10%（直径范围内）
存储条件干燥、避酸碱、常温密封保存
包装方式专用防尘塑料盒，单片装
产地日本
主要用途SEM不导电样品导电镀膜、电极薄膜制备、能谱（EDS）分析前处理
总结
JEOL 780108647金靶材以99.99%超高纯度金为原料，精确控制φ49×0.05 mm的尺寸与公差，确保与JEOL溅射仪匹配。其物理特性（高密度、低电阻率）保证了稳定且均匀的溅射沉积，而明确的溅射条件建议（氩气、电流、真空度）则为用户提供了标准化操作依据。作为SEM样品制备的关键耗材，该靶材能够批量提供高质量金膜，有效解决非导电样品的荷电问题，是保障电镜成像清晰度与数据可靠性的重要基础。合理存储与规范使用可延长靶材寿命，降低单次测试成本。
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