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日本电子JEOL白金靶材高分辨扫描电镜样品
日本电子JEOL白金靶材高分辨扫描电镜样品
780108663 ，780174721 ，780110463，
介绍
日本电子（JEOL）780113888白金靶材是一款专为高分辨扫描电镜（SEM）样品导电镀膜设计的高纯度溅射靶材。采用99.95%高纯铂（Pt）制造，适用于JEOL系列离子溅射仪（如JFC-1600、JEC-3000FC等），用于对非导电样品进行精细铂膜镀膜处理。与金靶材相比，铂靶材溅射沉积的薄膜晶粒更细、更均匀，尤其适合场发射扫描电镜（FE-SEM）等高分辨成像需求。铂优异的导电性和化学惰性使其在超高分辨观察和能谱（EDS）分析中具有独特优势。以下为详细技术参数。
参数项目详细规格
品牌日本电子（JEOL）
零件编号780113888
材质铂（Pt）
纯度99.95%（3N5）
形状圆形薄片
直径φ46.2 mm
厚度0.1 mm
层数/结构2层结构（0.1×2）
密度21.45 g/cm³（@20℃）
熔点1768℃
热导率71.6 W/(m·K)
电阻率1.06×10⁻⁷ Ω·m
适用仪器JEOL JFC系列离子溅射仪（JFC-1200/1300/1400/1600/2300HR等）及JEC-3000FC自动精细镀膜仪
推荐溅射气体高纯氩气（≥99.999%）
典型溅射电流10~40 mA（依镀膜厚度需求）
膜厚均匀性≤±10%（直径范围内）
典型镀膜厚度约9 nm（60秒溅射，靶样距30 mm）
存储条件干燥、避酸碱、常温密封保存
包装方式专用防尘包装，单片装
产地日本
主要用途FE-SEM高分辨成像导电镀膜、不导电样品荷电消除、EDS/EBSP分析前处理
总结
JEOL 780113888白金靶材以99.95%高纯铂为原料，采用φ46.2×0.1×2的精密尺寸规格（双层结构设计），是JEOL离子溅射仪系统的配套耗材。其核心优势在于为场发射扫描电镜等超高分辨观察提供晶粒更细、更均匀的导电镀膜层，有效消除非导电样品的荷电效应，保障纳米级成像的清晰度与准确性。该靶材适配JFC系列及JEC-3000FC等多款JEOL镀膜设备，是从事高分辨电子显微分析实验室的关键耗材之一。
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