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日本电子JEOL白金钯靶材高性能合金溅射
日本电子JEOL白金钯靶材高性能合金溅射
780175808 ，783163851 ，780118201 ，
介绍
日本电子（JEOL）780108655白金钯靶材是一款专为扫描电镜（SEM）样品导电镀膜设计的高性能合金溅射靶材。采用Pt80%-Pd20%合金配方，纯度高达99.95%，适配JEOL JFC系列离子溅射仪及JEC-3000FC自动精细镀膜仪。白金钯合金靶材结合了铂（Pt）优异的导电性、高二次电子产率和超细晶粒特性，以及钯（Pd）良好的耐腐蚀性和化学稳定性。80/20的合金配比在薄膜附着力、晶粒细度和成像质量之间实现了优化平衡。相比纯铂靶，铂钯合金靶在保持高分辨成像能力的同时具有更好的成膜均匀性和抗应力开裂性能，特别适用于场发射扫描电镜（FE-SEM）超高分辨成像及对膜层质量要求严格的制样场景。以下为详细技术参数。
参数项目详细规格
品牌日本电子（JEOL）
零件编号780108655
材质铂钯合金（Pt-Pd）
合金比例Pt 80% - Pd 20%
纯度99.95%（3N5）
形状圆形薄片（偏心靶）
直径φ49 mm
厚度0.05 mm
铂密度21.45 g/cm³（@20℃）
钯密度12.02 g/cm³（@20℃）
铂熔点1768℃
钯熔点1554.9℃
铂电阻率1.06×10⁻⁷ Ω·m
钯电阻率1.054×10⁻⁷ Ω·m
适用仪器JEOL JFC系列离子溅射仪、JEC-3000FC自动精细镀膜仪
溅射方式磁控溅射
工作真空度20Pa以下
溅射电流10、20、30、40 mA
推荐溅射气体高纯氩气（≥99.999%）
存储条件干燥、避酸碱、常温密封保存
包装方式专用防尘包装，单片装
产地日本
主要用途FE-SEM高分辨成像导电镀膜、不导电样品荷电消除、EDS/EBSP分析前处理
总结
JEOL 780108655白金钯靶材以Pt80%-Pd20%合金配方和99.95%高纯度为原料，采用φ49×0.05 mm的精密偏心靶规格，是JEOL离子溅射仪系统的配套耗材。其核心优势在于结合了铂的超细晶粒特性与钯的良好成膜稳定性，溅射薄膜晶粒细小、附着力强、抗应力开裂性能优异。该靶材有效消除非导电样品的荷电效应，特别适用于FE-SEM等超高分辨成像场景，是追求高质量镀膜效果的电子显微分析实验室的重要选择之一。作为JEOL JFC系列及JEC-3000FC镀膜设备的理想配套耗材，铂钯靶为高分辨电镜制样提供了可靠保障。
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