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总经销！日本电子JEOL合金溅射金钯靶材
总经销！日本电子JEOL合金溅射金钯靶材
780174704，780115503 ，783163843
介绍
日本电子（JEOL）780137141金钯靶材是一款专为扫描电镜（SEM）样品导电镀膜设计的合金溅射靶材。采用Au80%-Pd20%合金配方，纯度高达99.99%，适配JEOL JFC系列离子溅射仪（如JFC-1200/1300/1400/1600/2300HR等）及JEC-3000FC自动精细镀膜仪。金钯合金靶材结合了金优异的导电性、耐腐蚀性和光学稳定性，以及钯的高硬度、耐磨性和催化活性。80/20的合金配比在薄膜附着力、耐久性和电学性能之间实现了优化平衡。相比纯金靶，金钯合金靶溅射沉积的薄膜晶粒更细、附着力更强，特别适用于场发射扫描电镜（FE-SEM）高分辨成像及需要更高膜层质量的制样场景。以下为详细技术参数。
参数表格
参数项目详细规格
品牌日本电子（JEOL）
零件编号780137141
材质金钯合金（Au-Pd）
合金比例Au 80% - Pd 20%
纯度99.99%（4N）
形状圆形薄片
直径φ49.5 mm
厚度0.1 mm
金密度19.32 g/cm³（@20℃）
钯密度12.02 g/cm³（@20℃）
金熔点1064℃
钯熔点1554.9℃
金电阻率2.44×10⁻⁸ Ω·m
钯电阻率1.054×10⁻⁷ Ω·m
适用仪器JEOL JFC-1200/1300/1400/1600/2300HR等离子溅射仪、JEC-3000FC自动精细镀膜仪
推荐溅射气体高纯氩气（≥99.999%）
典型溅射电流10、20、30、40 mA
工作真空度约5~10 Pa
膜厚均匀性≤±10%（直径范围内）
存储条件干燥、避酸碱、常温密封保存
包装方式专用防尘包装，单片装
产地日本
主要用途FE-SEM高分辨成像导电镀膜、不导电样品荷电消除、EDS/EBSP分析前处理、薄膜沉积
总结
JEOL 780137141金钯靶材以Au80%-Pd20%合金配方和99.99%高纯度为原料，采用φ49.5×0.1 mm的精密尺寸规格，是JEOL离子溅射仪系统的高性能配套耗材。其核心优势在于结合了金的优异导电性与钯的高硬度、耐磨性，溅射薄膜晶粒更细、附着力更强。该靶材有效消除非导电样品的荷电效应，特别适用于FE-SEM等高分辨成像场景，在微电子、光电子和高性能涂层等领域具有广泛应用价值。作为JEOL JFC系列及JEC-3000FC镀膜设备的理想配套耗材，金钯靶材是追求高质量镀膜效果的电子显微分析实验室的重要选择之一。
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