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中崎供货！日本电子JEOL高纯度溅射钯靶材
中崎供货！日本电子JEOL高纯度溅射钯靶材
780108671 ，780358562 ，
日本电子（JEOL）780132556钯靶材是一款专为扫描电镜（SEM）样品导电镀膜设计的高纯度溅射靶材。采用99.95%高纯钯（Pd）制造，适用于JEOL JFC系列离子溅射仪（如JFC-1200/1300/1400/1600/2300HR等）及JEC-3000FC自动精细镀膜仪。钯靶材溅射沉积的薄膜晶粒细小、附着力强，特别适用于场发射扫描电镜（FE-SEM）等高分辨成像需求。钯具有良好的耐腐蚀性和化学稳定性，在能谱（EDS）分析中对常见元素谱峰干扰较少。以下为详细技术参数。
参数项目详细规格
品牌日本电子（JEOL）
零件编号780132556
材质钯（Pd）
纯度99.95%（3N5）
形状圆形薄片
直径φ46.2 mm
厚度0.1 mm
层数/结构2层结构（0.1×2）
密度12.02 g/cm³（@20℃）
熔点1554.9℃
沸点2963℃
热导率71.8 W/(m·K)
电阻率1.054×10⁻⁷ Ω·m（@20℃）
适用仪器JEOL JFC系列离子溅射仪（JFC-1200/1300/1400/1600/2300HR等）及JEC-3000FC自动精细镀膜仪
推荐溅射气体高纯氩气（≥99.999%）
典型溅射电流10~40 mA
工作真空度约5~10 Pa
膜厚均匀性≤±10%（直径范围内）
存储条件干燥、避酸碱、常温密封保存
包装方式专用防尘包装，单片装
产地日本
主要用途FE-SEM高分辨成像导电镀膜、不导电样品荷电消除、EDS/EBSP分析前处理
总结
JEOL 780132556钯靶材以99.95%高纯钯为原料，采用φ46.2×0.1×2的精密尺寸规格（双层结构设计），是JEOL离子溅射仪系统的高性能配套耗材。其核心优势在于为场发射扫描电镜等超高分辨观察提供晶粒细小、附着力强的导电镀膜层，有效消除非导电样品的荷电效应，保障纳米级成像的清晰度与准确性。钯靶材在耐腐蚀性和化学稳定性方面表现出色，对EDS分析中常见元素谱峰干扰较少，是从事高分辨电子显微分析实验室的重要耗材之一。
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