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日本Fujikin富士金气动式金属隔膜阀
日本Fujikin富士金气动式金属隔膜阀
富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 气动阀产品介绍
Fujikin富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 是一款隶属于PURE*系列的高压高纯气动式金属隔膜阀，专为半导体、光伏及特种化工等超高纯流体系统设计。
核心参数
型号：FPR-PNSD-721-6.35-316LP
通径：6.35 mm（1/4英寸）
材质：阀体为 SUS316LP 不锈钢
驱动方式：气动（常闭型）
连接规格：内螺纹（符合 PNSD 标准）
最大工作压力：20.5 MPa
工作温度：-10℃ 至 40℃
适用介质：高纯气体、腐蚀性及高毒性特种气体
结构特点
该阀采用金属双层隔膜技术（材质为 Elgiloy 镍钴合金），实现阀体与执行机构隔离，杜绝外部泄漏风险。流道经设计配合 EP 电解抛光处理，表面粗糙度极低，确保超洁净环境。整体进行特级无油（禁油）处理，满足高纯工艺对无污染的苛刻要求。
应用优势
零泄漏：金属隔膜密封结构，内外泄漏率极低
高耐压：20.5 MPa 承压能力，适应高压特气输送
高寿命：隔膜经久耐用，维护成本低
自动化控制：气动直动式设计，响应迅速，便于集成
凭借紧凑机身与性能，该阀广泛适用于晶圆制造、刻蚀、CVD / PVD 等半导体核心设备，以及光伏、LED 和精细化工行业中的高纯流体控制场合，是严苛工况下的理想选择。
中崎目前已获得NPM脉冲、FANUC发那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO远藤、NITTO KOHKI日东工器，SUZUKI超声波切割机，GRAPHTEC图技，JST日压，AND爱安德，TRUSCO中山，ASONE亚速旺，TOA-DKK 东亚电波，ATAGO爱拓，HOZAN宝山，FUNATECH船越龙，VESSEL威威，HEIDON新东科学，HIOS好握速，SIBATA柴田科学，HORIBA堀场， ONOSOKKI小野，KETT凯特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM马康，MUSASHI武藏， AMADA米亚基，MECT麦特，Mitutoyo三丰，PISCO匹士克等多家品牌认证。
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