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日本MIYUKI美幸辉伺服闸板式真空调节阀
日本MIYUKI美幸辉伺服闸板式真空调节阀
一、产品简介
GAR-J300是日本MIYUKI（美幸辉）旗下一款高性能真空调节阀。根据现有资料，它更可能属于闸阀（Gate Valve）结构，而非蝶阀。其核心定位是用于高真空环境下的精确流量调节与通断控制，而非简单开关。产品特点是排气特性优异，采用SUS304不锈钢研磨板材料，有效减少了内表面的气体释放，适合半导体、真空镀膜等对洁净度要求严苛的制程。
二、关键参数
项目规格参数
驱动方式电动伺服（具体伺服品牌未见详细说明）
适用口径300A（JIS标准）
工作压力范围10⁵ Pa ~ 10⁻⁶ Pa（大气压至高真空）
内部漏率（阀座）≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
外部漏率（轴封）≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
气体接触材质SUS304不锈钢
阀体密封件氟橡胶O型圈
耐热温度本体：150°C；电机：40°C
停电时阀门状态停止（制动锁止），可实现全闭密封
三、总结
GAR-J300是一款专为大型真空系统设计的精密控制阀，其核心优势在于兼顾了大流量通断与高精度调节，并且采用了低释气、低颗粒的设计结构，确保了真空环境的洁净度。其断电锁止功能也为系统安全提供了重要保障，是真空工艺中实现精确压力控制的理想选择。
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