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日本MIYUKI美幸辉BH系列两段式气动真空蝶阀
日本MIYUKI美幸辉BH系列两段式气动真空蝶阀
BH-J25 BH-J50 BH-J65 BH-J80 BH-J100 BH-J150 BH-J200 BH-J250 BH-J300 BH-J350
一、产品介绍
BH系列是日本MIYUKI（美幸辉）推出的一款两段式（双气缸）气动真空蝶阀。该系列采用齿轮齿条气动执行机构，区别于B系列的单气缸纯通断设计，BH系列为双级气缸结构。阀门具备0°全关、0~45°可调节流慢开、90°全开三工位控制功能。通过单台阀门即可实现慢速排气与快速排气，有效替代“切断阀+旁路针阀"的传统双阀方案。阀体采用SUS304不锈钢镜面电解抛光，低放气、低发尘；气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击震动，动作噪音极低。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品系列BH系列
阀门类型两段式双气缸气动真空蝶阀
动作模式0°全关 / 0~45°可调慢开 / 90°全开
口径范围25A～350A
适用压力范围10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa
内部泄漏量≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
气体接触材料SUS304
阀门/轴密封氟橡胶O型圈（可选Kalrez全氟醚）
阀体耐热温度150°C（FFKM密封）
气缸环境温度≤40°C
工作气源0.4～0.6 MPaG 洁净干燥压缩空气
法兰标准JIS、ISO、KF（NW）、CF
信号反馈标配全开/全闭微动开关
三、总结
BH系列的核心优势在于双气缸两段式设计，单阀即可实现慢抽/慢破空与快速排气的灵活切换。破真空时小开度缓慢进气，有效抑制气流冲击，保护晶圆、光学膜层等精密工件免受损伤。配合超薄阀体带来的优异电导性能、超低泄漏以及洁净室组装工艺，BH系列广泛适用于光学镀膜、半导体PVD/CVD、锂电脱气等对气流冲击敏感的精密真空工艺场景。
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