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日本MIYUKI美幸辉伺服电机驱动真空蝶阀
日本MIYUKI美幸辉伺服电机驱动真空蝶阀
BJ4-J25 BJ4-J50 BJ4-J65 BJ4-J80 BJ4-J100 BJ4-J150 BJ4-J200 BJ4-J250
一、产品介绍
BJ4-J150是日本MIYUKI（美幸辉）BJ4系列中的一款伺服电机驱动真空蝶阀。该阀搭载三菱MR-J4系列交流伺服电机与高精度齿轮减速机构，通过电动执行器驱动阀板作0～90°回转运动。其核心优势在于一机两用——单台阀门即可同时实现全关切断与任意开度电导调节，无需分开配置切断阀与节流阀，有效简化管路并减少泄漏点。阀体采用SUS304不锈钢一体加工成型，内置FKM氟橡胶密封件，并标配外置角度指示器。该阀支持压差工况开启（真空-大气压侧压差），适配10⁵～10⁻⁵ Pa的宽域真空区间。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号BJ4-J150
阀门类型伺服电机驱动真空蝶阀
驱动系统三菱MR-J4交流伺服电机 + 高精度齿轮减速机构
口径150A（系列覆盖25A～250A）
适用压力范围10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa
泄漏量≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
气体接触材料SUS304不锈钢
阀板/轴密封氟橡胶O型圈（FKM）
开度控制0～90°全行程任意定位
位置指示外置角度指示器
法兰标准JIS、KF、ISO、CF等多种可选
可选配件开/关检测光电传感器
三、总结
BJ4-J150的核心优势在于一机两用与伺服高精度控制，单台设备即可替代“切断阀+节流阀"的传统组合，大幅精简真空系统。其伺服闭环驱动与高精度齿轮箱确保了的位置再现性，即使微小开度也能稳定调节。支持压差工况开启、多种运行模式以及大流量排气能力，使其广泛适用于半导体、光学镀膜、等离子处理等精密真空工艺的自动化产线。
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