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总经销!日本MIYUKI美幸辉电动真空蝶阀
总经销!日本MIYUKI美幸辉电动真空蝶阀
BAZ-J25,BAZ-I65,BAZ-N80,BAZ-C100,
一、产品介绍
BAZ-N80是日本MIYUKI(美幸辉)BAZ系列的一款开度指定型电动真空蝶阀。该系列阀门需搭配MS-PC开度指定型控制器使用,其核心设计是将阀门从全闭到全开的行程均等划分为100份(00-99),以实现精确的开度定位控制。BAZ-N80采用伺服电机直驱技术,无齿轮背隙;内置绝对式传感器,断电重启后无需重新寻零;电机内置电磁制动器,突发断电时可保持当前阀位不变;阀体无金属滑动部件,颗粒排放极低。该阀门广泛适用于真空镀膜、半导体制造、热处理炉、氦检、真空钎焊等需要分段稳压、阶梯进气的精密真空工艺场景。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号BAZ-N80
产品系列BAZ系列 / 开度指定型电动蝶阀
公称通径80A(系列覆盖25A~100A)
适用压力范围10⁵ Pa ~ 10⁻⁵ Pa
内部泄漏量(阀门)≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
外部泄漏量(轴)≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
气体接触材料SUS304不锈钢
阀门/轴密封氟橡胶O型圈(FKM)
本体耐热温度150°C
电机耐热温度40°C
停电时阀门状态电磁制动器保持当前位置
配套控制器MS-PC(开度指定型)
安装方向任意角度
三、总结
BAZ-N80作为BAZ系列开度指定型电动蝶阀的代表型号,其核心优势在于100级高分辨率开度控制、绝对式传感器原点记忆与断电电磁制动保持三位一体的设计。配合MS-PC控制器,该阀可实现手动/自动双模式的精确开度定位,适用于真空镀膜、半导体制造、热处理等需要分段压力控制的精密工艺场景。

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